Die Halbleiterindustrie bildet das Rückgrat unserer modernen Technologie, von Smartphones über Computer bis hin zu Automobilen. Die Herstellung von Halbleiterbauelementen erfordert extrem reine und kontrollierte Umgebungen, da selbst geringste Verunreinigungen die Funktionalität und Zuverlässigkeit der Produkte beeinträchtigen können. Deshalb ist eine zuverlässige Gasanalyse entscheidend – und genau hier kommen wir von Gröger & Obst ins Spiel.
Präzise ATC-Messung für reine Luft
Sicherheit in der Halbleiterindustrie mit dem GO-ATC
Warum ist die Luftqualität so wichtig?
Während des Herstellungsprozesses von Halbleitern kommen verschiedene chemische Verfahren zum Einsatz, wie beispielsweise die chemische Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor Deposition, CVD). Bei der CVD werden dünne Schichten auf Substraten durch chemische Reaktionen aus der Gasphase abgeschieden. Die Präzision dieses Verfahrens hängt maßgeblich von der Reinheit und der genauen Zusammensetzung der verwendeten Gase ab. Selbst kleinste Verunreinigungen können die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten verändern und somit die Leistung der Halbleiterbauelemente beeinträchtigen.
Ähnlich verhält es sich bei der Gasphasenzersetzung (VPD), die genutzt wird, um metallische Rückstände auf Wafern nachzuweisen. Eine exakte Analyse der Luftqualität ist hier unerlässlich, um höchste Reinheit und gleichbleibende Qualität sicherzustellen.
Unsere Herausforderung: Unsichtbare Risiken erkennen
Reinräume in der Halbleiterproduktion unterliegen strengen Vorgaben, denn Partikel, Feuchtigkeit oder flüchtige organische Verbindungen (VOCs) dürfen die empfindlichen Prozesse nicht beeinträchtigen. Doch viele dieser Verunreinigungen sind mit bloßem Auge nicht erkennbar – und genau hier kommt es auf eine präzise, zuverlässige Gasanalyse an.
Unsere Lösung: Der GO-ATC von Gröger & Obst
Mit unserem GO-ATC (Atmospheric Total Carbon) zur ATC-Messung bieten wir ein hochpräzises Gerät, das auch geringste Mengen an Verunreinigungen in Echtzeit misst. Es wird den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht und stellt sicher, dass alle relevanten Parameter innerhalb der vorgeschriebenen Grenzen liegen. Damit behalten Sie die Luftqualität jederzeit im Blick und können schnell auf Veränderungen reagieren.
Der GO-ATC zeichnet sich durch folgende Merkmale aus:
Hohe Empfindlichkeit
Erfasst minimale Spuren von Gasverunreinigungen im ppb-Bereich (parts per billion), wodurch selbst geringste Kontaminationen frühzeitig identifiziert werden können.
Schnelle Reaktionszeit
Echtzeitdaten ermöglichen sofortige Reaktionen auf Veränderungen der Luftqualität.
Zuverlässiger Dauerbetrieb
Robuste Technologie mit minimalem Wartungsaufwand.
Einfache Integration
Intuitive Bedienoberfläche und einfacher Anschluss an bestehende Überwachungssysteme.